例:VFHY1104P、LLF0111A、ULR4B、SL035
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通常镜面反射率随入射光角度变化,但通过在镜面施加高反射率涂层,可实现特定光线在任意角度下的均匀反射。此外,通过精密设计膜层结构,还能进一步提升反射率本身。
如右图所示,高反射率涂层由交替排列的不同透光特性材料层构成(即高折射率与低折射率材料交替)。这种结构能更高效地反射更多光线(本质上是通过使各层反射光的相位对齐来增强光强)。该涂层最初应用于光学元件表面,如今我们将其应用于半导体基板晶圆以实现高效光控。通过精密工艺形成涂层,既增强了与晶圆的附着力,又构建出适配后续半导体工艺的涂层结构。
1. 实现理想反射率的涂层高反射涂层的成分与材料会根据使用光线类型及入射角度进行调整。与仅使用铝材制成的反射面相比,反射率显著提高。
2.高耐久性反射涂层铝合金反射器表面作为基底,增强了与高反射率涂层的附着力,提供了稳定的基础。此外,顶层的保护涂层可防止氧化和损伤,抑制反射性能的任何衰减。该保护涂层还具有优异的机械强度,使其成为一种高度耐用的涂层。由此形成的涂层兼具卓越的耐久性、长寿命和高反射率。
可应用于家电、光学设备、汽车设备、信息通信设备等多个领域。
超小型投影仪
AR眼镜
MEMS振镜尺寸小于一元硬币的MEMS反射镜用于光线反射,应用于投影仪实现图像投射。镜面采用高反射率涂层提升光反射效率,实现光能零损耗利用。
采用MEMS振镜的投影仪投影技术