深紫外LED的结构

深紫外LED由LED元件、保护二极管、封装基板和镜头组成。

深紫外LED外观

实现“高品质”、“高输出”、“高效率”的三项技术

斯坦雷电气不断改进“LED元件”和“封装结构”,开发出其他公司无法实现的独家深紫外LED。

LED元件

如【图2】所示,LED元件是通过将各层层叠在最上方的AlN基板上制造而成。

图1 深紫外LED的剖面图 图2 LED元件放大图

使用晶体缺陷少的基板材质

制造LED元件时作为LED元件结构底材的基板是用于堆叠层的基础部分。
基板与n-AlGaN(氮化铝镓)层的晶格常数(晶粒的间隔)差增大后,晶体缺陷会增加,因此使用材质与n-AlGaN层相近的基板提高晶体品质。
很多深紫外LED的基板使用蓝色LED中用到的蓝宝石材质,晶粒的间隔(晶格常数)大,所以基板层叠容易产生裂纹,特别是265nm短波长层叠更加困难。
产生裂纹后,即便通入大电流,也无法高效发光。
另外,只要通入小电流,基板温度就会上升,导致效率降低。

元件类型 结构 特点
AlN基板 晶体缺陷→
1万个/cm²
蓝宝石基板的万分之一 晶体缺陷少
高效率
高输出
蓝宝石基板 晶体缺陷→
1亿个/cm²
晶体缺陷多
× 低效率
低输出

因此,斯坦雷电气为了实现高杀菌效率的265nm波长,收购了拥有由铝(Al)和氮(N)组成的AlN基板的HexaTech公司,可以制造需要高度技术力的AlN基板。晶粒的间隔小,可制造整齐的层叠结构【图3参照】,不易产生裂纹(晶体缺陷少)。

图3层叠结构对比

图3层叠结构对比

因此,能够实现高输出小电流的发光。蓝宝石基板大概在超过400mA后,光输出便不再增加,但斯坦雷的LED即使在大电流下也能保持高输出。

另外,通过采用晶体缺陷少的AlN基板,在高温度环境下也能实现高输出。使用蓝宝石基板的LED的效率会大幅降低,但斯坦雷产品可维持高效率,温度特性优秀【参照图4】。

图4各基板材质温度特性对比

图5各基板材质温度特性对比

实现有厚度但透光率高的层叠基板的生成方法

第二项技术是将元件发射的光高效提取(光提取效率)的技术。
AlN基板起到类似LED元件的窗户的作用,透光性越高,便可提取越多的明亮的光。
另外,基板有厚度,在制造工艺中有助于降低操作难易度。
换句话说,对于基板而言,重要的是“高透明性+厚度”。
但是,采用常用的“升华法”时,杂质进入晶体内会导致透明性降低,而且若要增加厚度,则透明性也会下降。

因此,斯坦雷电气为了制造既有厚度透明性又高的基板,采用了名为“HVPE(氢化物气相外延)法”的技术。
与利用传统升华法的AlN基板相比,波长300nm以下(杀菌效果高的265nm附近)的透光率特别高,可高效提取光【参照图5】。
综上所述,高效提取元件发出的强光可实现“高效率”。

图5 用HVPE法制造的AlN层叠基板的透光率特性

图6 用HVPE法制造的AlN层叠基板的透光率特性